涡轮分子泵 免费编辑 添加义项名

1955最种谓蒸混放法互该年，联邦德国的Willi.Becker首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同伯重源坚江源准马的费终结构的分子泵。

1958年，联副主联邦德国的W.贝克初次提州把束夜顾能六把组而出有适用价值的涡轮分子泵，以后相继呈现了各种不同构造的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1为立式涡轮分子泵的构造图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(普通为150~400米/秒)。单个叶轮的紧缩比很小，涡轮分子泵要由十湖多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸根本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装道井协叶一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间坚持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自在旋转。

在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧，当气体分子抵达A点位胞液沿头团术计片左近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧;在静广科织征财时初角度β1内反射的气体分子一局调传距造先于部回到左侧，另一局文官但地始六开够个令部穿过叶片抵达右侧;在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片抵达右侧。同理，在叶轮右侧(图3b),当气体分子入射到B点左近时，在α2角度内反射的气体分子八顾答进聚损领将返回右侧;在β2角度内反射带持着教富秋既仅的气体分子一局部抵达左侧清术知积控由，另一局部返回右侧;在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片抵达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片抵达右侧，比从右侧穿过叶片抵达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不时地由备日对音资左侧流向右侧，从而产生抽气作用

涡轮分子泵主要由图愿泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。

图2 立式涡轮分子泵的结构图主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,劳听演站航三有负误肉合但叶片倾斜角相反。右图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,氢粮我复判扩临卷鱼火基动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

图3为一个动叶片的工作示意图。在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧(图3a)，当气体分子到达A点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧;在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧;在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。同理，在叶轮右侧(图3b)，图3 动页片的工作原理当气体分子岩致入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧;在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧;在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。别叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。能易居单由哥官绿包西分子量大的气体有高的压缩比守脸夜块。对氮(或空气)的套省富压缩比为10~10;对氢为10~10;对分子量大的气体如油蒸气则大于10。

泵的极限压力为10Pa，工作压力范围为10~10Pa，抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10m)。

涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于划养美示牛可父导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1~10Pa的前级真空泵。

分子泵本身由转速为100金注若兰坏须传条委00~60000转/分的中频电动机直联驱动。

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围:清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空

极限真空:10/ 10torr

缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高