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《微纳制造(影印版)》棕葛踏体婚内容宙签颂赠丰击腊料富，讲解透彻，是一本相关领域电子工程师、材料科研工作者开发微鸦船慨纳米材料应用的全面颂套体的指南，同时也可作为微纳米机械和微纳米技术专业研究生的参考书。危主雄重
折叠 编辑本段 图书目录
Preface
1. Principles of Micro-and Nanofabrication
2棉法构且视根定. Microfabrication Using X-ray Lithography
3. Manufactur轻奏呼ing High Aspect Ratio Microstructures
4. Meso-micromachining
5. Mechanical Micromachining
6. Microgrinding
7. Diamond 史易并直农Micro Cutting To称渐杨历ols
8. Laser Micro-and Nanofab食如rication
9. 加高边耐区脸弦抗影Micromachining Using Water Droplet坏角类胡脸长触往既s
10. Diamond Nanogrinding
11. Nanomachin州统迅始部致ing
12. Micro- and Nanomanufacturing
Subject Index