折叠 编辑本段 内容简介
《微纳制造(影印版)》内容丰富，讲解透彻，是一本相关领域电子工程师、材料优个科研工作者开发微纳米材料应用的全面的指南，同时也可作为微哥处教斯纳米机械和微纳米技术专业研与直情单百服友究生的参考书。
折叠 编辑本段 图书目录
Preface
1. Principles o维那企林支演若胞然兰f Micro-and Nan背向额占玉殖需站屋ofabrication
2. Microfabrication Using X-ray Lithography
3. Manufacturing High Aspect Ratio Microstructures
4. Meso-micromachining
5. Mechanical Mic伤护住免romachining
6. Microgrinding
7. Diamond Micro Cutting Tools
8. Laser Micro-and Nanofabrication
9. Micromachining Using Water Droplets
10. Diamond Nanog困官这级考兰rinding
11. Nanomachining
12. Micro- and Na州失度教准nomanufacturing
Subject Index